| Nom du produit: | Système de mesure d'interféromètre du laser SJ6000 | Gamme de mesure linéaire: | 0~80m |
|---|---|---|---|
| Résolution: | 1 nm | Exactitude de fréquence de laser: | 0.05ppm |
| Température de fonctionnement :: | ℃ (de 0-40) | Taux dynamique de capture :: | 50 kHz |
| Mettre en évidence: | Interféromètre à fréquence unique de laser,appareils de la mesure 0.05ppm,appareils de mesure de la résolution 1nm |
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L'interféromètre laser est reconnu comme une méthode de mesure de haute précision et haute sensibilité qui utilise la longueur d'onde de la lumière comme critère, largement utilisée dans les domaines de fabrication haut de gamme. Le système d'interféromètre laser SJ6000 intègre un générateur laser hélium-néon haute fréquence provenant d'un fournisseur américain, des modules de compensation environnementale de haute précision, un traitement avancé des signaux d'interférence laser et un système de contrôle informatique hautes performances.
Utilisant la technologie de stabilisation de fréquence thermique du mode laser double longitudinal et la conception du chemin optique d'interférence des paramètres géométriques, le SJ6000 offre une sortie laser stable à long terme et de haute précision (0,05 ppm) rapidement (environ 6 minutes) avec de puissantes performances anti-interférences. Avec différents modules de prisme, il peut mesurer la linéarité, l'angle, la rectitude, la planéité, la perpendiculaire et analyser les caractéristiques dynamiques.
| Paramètre | Spécification |
|---|---|
| Méthode de mesure | Fréquence unique |
| Précision de la fréquence laser | 0,05 ppm |
| Taux de capture dynamique | 50 kHz |
| Temps d'échauffement | Environ 6 minutes |
| Température de fonctionnement | (0-40)℃ |
| Conditions environnementales | Température : (0-40)℃, Humidité : 0-95 % |
| Température de stockage | -20 ℃ à 70 ℃ |
| Type de capteur | Spécification |
|---|---|
| Capteur de température atmosphérique | ±0,1℃ (0-40)℃, résolution : 0,01℃ |
| Capteur de température du matériau | ±0,1℃ (0-40)℃, résolution : 0,01℃ |
| Capteur d'humidité atmosphérique | ±5% (0-95%) |
| Capteur de pression atmosphérique | ±0,1kPa (65-115)kPa |
| Paramètre | Spécification |
|---|---|
| Plage de mesure | (0-80)m |
| Précision de mesure | 0,5 ppm (0-40)℃ |
| Résolution de mesure | 1 nm |
| Vitesse de mesure maximale | 4 m/s |
| Paramètre | Spécification |
|---|---|
| Plage axiale | (0-15)m |
| Plage de mesure | ±10° |
| Précision | ±(0,02%R+0,1+0,24M)″ (R indique la valeur, unité : ″ ; M est la longueur mesurée en m) |
| Résolution de mesure | 0,1″ |
| Paramètre | Spécification |
|---|---|
| Plage axiale | (0-15)m |
| Plage de mesure de planéité | ±1,5 mm |
| Précision | ±(0,2%R+0,02M²)μm (R indique la valeur en μm ; M est la longueur mesurée en m) |
| Taille du substrat | 180 mm réglable, 360 mm réglable |
| Résolution de mesure | 0,1 μm |
| Taper | Plage d'axe | Plage de mesure | Précision | Résolution |
|---|---|---|---|---|
| Courte rectitude | (0,1-4)m | ±3,0 mm | ±(0,5+0,25%R+0,15M²)μm | 0,01 μm |
| Longue rectitude | (1-20)m | ±3,0 mm | ±(5,0+2,5%R+0,015M²)μm | 0,01 μm |
| Taper | Plage d'axe | Plage de mesure | Précision | Résolution |
|---|---|---|---|---|
| Courte rectitude | (0,1-3)m | ±3,0 mm | ±(2,5+0,25%R+0,8M)μm/m | 0,01 μm |
| Longue rectitude | (1-15)m | ±3,0 mm | ±(2,5+2,5%R+0,08M)μm/m | 0,01 μm |