| Nom du produit: | Système de mesure d'interféromètre du laser SJ6000 | Gamme de mesure linéaire: | 0~80m |
|---|---|---|---|
| Résolution: | 1 nm | Exactitude de fréquence de laser: | 0.05ppm |
| Température de fonctionnement :: | ℃ (de 0-40) | Taux dynamique de capture :: | 50 kHz |
| Mettre en évidence: | système de mesure d'interféromètre du laser 0.05ppm,système de mesure d'interféromètre du laser 1nm,interféromètre de mesure du déplacement 1nm |
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L'interférométrie laser est reconnue comme une méthode de mesure de haute précision et très sensible qui utilise la longueur d'onde de la lumière comme critère, largement utilisée dans la fabrication haut de gamme.Le système d'interféromètre laser SJ6000 intègre un générateur laser hélium-néon haute fréquence d'un fournisseur américain, des modules de compensation environnementale de haute précision, un traitement avancé des signaux d'interférence laser et un système de commande informatique de haute performance.
Utilisant la technologie de stabilisation thermique de fréquence avec mode laser à double longitude et paramètres géométriques de conception de trajectoire optique d'interférence, le SJ6000 fournit stable à long terme,haute précision (0.05 ppm) de sortie laser en environ 6 minutes, avec des performances anti-interférences puissantes.et analyse les caractéristiques dynamiques.
| Paramètres du système | Capteurs de l'environnement |
|---|---|
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Méthode de mesure:Fréquence unique Précision de fréquence laser:00,05 ppm Taux de capture dynamique:50 kHz Temps d'échauffement:~ 6 minutes Température de fonctionnement:0 à 40 °C Environnement:0-40°C, humidité de 0 à 95% Température de stockage:-20 à 70 °C |
Température atmosphérique:± 0,1°C (0-40°C), résolution de 0,01°C Température du matériau:± 0,1°C (0-40°C), résolution de 0,01°C Humidité atmosphérique:± 5% (0 à 95%) Pression atmosphérique:Le système de régulation de la température doit être équipé d'un système de régulation de la température. |
| Mesure linéaire | Mesure de l'angle |
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Plage de mesure:0 à 80 m Précision de mesure:00,5 ppm (0-40°C) Résolution:1 nm Vitesse maximale:4 m/s |
Autonomie de l'appareil0 à 15 m Plage de mesure:± 10° Précision:± ((0,02%R+0,1+0,24M) " Résolution:0.1′′ R = valeur d'indication (′′), M = longueur mesurée (m)
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| Mesure de la planéité | |
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| Autonomie de l'appareil0 à 15 m | Plage de mesure:± 1,5 mm |
| Précision:± 0,2%R+0,02M2) μm | Résolution:0.1 μm |
| Taille du substrat:180 mm réglable, 360 mm réglable | |
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R = valeur d'indication (μm), M = longueur mesurée (m)
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| Mesure de la droiture | Une courte ligne droite | Légèreté |
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| Plage d'axe | 0.1-4m | 1 à 20 m |
| Plage de mesure | ± 3,0 mm | ± 3,0 mm |
| Précision | ± 0,5+0,25%R+0,15M2) μm | ± 5,0 + 2,5% R + 0,015 M2) μm |
| Résolution | 00,01 μm | 00,01 μm |
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R = valeur d'indication (μm), M = longueur mesurée (m)
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| Mesure de la perpendicularité | Une courte ligne droite | Légèreté |
|---|---|---|
| Plage d'axe | 0.1-3m | 1 à 15 m |
| Plage de mesure | ± 3,0 mm | ± 3,0 mm |
| Précision | ± 2,5+0,25%R+0,8M) μm/m | ± 2,5 + 2,5%R + 0,08M) μm/m |
| Résolution | 00,01 μm | 00,01 μm |
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R = valeur d'indication (μm), M = longueur mesurée (m)
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